BS-4020A 三眼工業用ウェーハ検査顕微鏡
導入
BS-4020A 工業用検査顕微鏡は、さまざまなサイズのウェーハや大型 PCB の検査用に特別に設計されています。この顕微鏡は、信頼性が高く、快適で正確な観察体験を提供できます。 BS-4020は、完璧な構造、高精細な光学システム、人間工学に基づいたオペレーティングシステムを備え、プロフェッショナルな分析を実現し、ウエハー、FPD、回路パッケージ、PCB、材料科学、精密鋳造、金属セラミックス、精密金型などの研究および検査のさまざまなニーズに応えます。半導体やエレクトロニクスなど
1. 完璧な顕微鏡照明システム。
顕微鏡にはケーラー照明が付属しており、視野全体に明るく均一な照明を提供します。無限遠光学システム NIS45、高 NA および LWD 対物レンズと連携して、完璧な顕微鏡イメージングを提供できます。
特徴
反射照明の明視野
BS-4020Aは優れた無限遠光学系を採用。視野は均一で明るく、色再現性が高い。不透明な半導体サンプルの観察に適しています。
暗視野
暗視野観察での高精細な画像を実現し、微細な傷などの欠陥までの高感度検査を実現します。要求の高いサンプルの表面検査に適しています。
透過照明の明視野
FPDや光学素子などの透明なサンプルでは、透過光を集光することで明視野観察が可能です。 DICや簡易偏波などのアクセサリーとの併用も可能です。
単純な偏光
この観察方法は、金属組織、鉱物、液晶、半導体材料などの複屈折標本に適しています。
落射照明DIC
精密金型の微妙な違いを観察する場合に使用します。通常の観察では見ることのできない微小な高低差をエンボスや立体画像として表現する観察手法です。
2.高品質のセミAPOおよびAPO明視野および暗視野対物レンズ。
NIS45シリーズセミAPO、APO対物レンズは、多層膜コーティング技術の採用により、紫外から近赤外までの球面収差、色収差を補正します。画像の鮮明さ、解像度、演色性が保証されます。様々な倍率で高解像度かつ平坦な画像が得られます。
3. 操作パネルは顕微鏡の前面にあり、操作が便利です。
機構制御パネルは顕微鏡の前面（オペレーターの近く）に配置されており、サンプルを観察する際の操作がより迅速かつ便利になります。また、長時間の観察による疲労や、大きな可動範囲による粉塵の舞い上がりも軽減します。
4.エルゴ傾斜三眼観察ヘッド。
Ergo 傾斜観察ヘッドは、長時間の作業によって引き起こされる筋肉の緊張や不快感を最小限に抑え、観察をより快適にすることができます。
5. ハンド位置が低いステージのフォーカス機構と微調整ハンドル。
ステージのフォーカス機構と微調整ハンドルは人間工学に基づいた低いハンドポジション設計を採用しています。操作時に手をあげる必要がなく、最高の快適性を実現します。
6. ステージにはクラッチハンドルが内蔵されています。
クラッチハンドルはステージの高速および低速移動モードを実現し、広い面積のサンプルを素早く見つけることができます。ステージの微調整ハンドルと併用すると、サンプルを迅速かつ正確に見つけることが難しくなくなります。
7. 特大ステージ (14 インチ x 12 インチ) は、大型のウェーハや PCB に使用できます。
マイクロエレクトロニクスや半導体サンプル、特にウエハーの面積は大きくなる傾向があるため、通常の金属顕微鏡ステージでは観察ニーズを満たすことができません。 BS-4020Aは移動範囲が広い特大ステージを備えており、移動が簡単で便利です。したがって、大面積の工業用サンプルの顕微鏡観察には理想的な機器です。
8. 12 インチのウェーハホルダーは顕微鏡に付属しています。
この顕微鏡は12インチウェーハ以降のウェーハを観察することができ、高速かつ微動するステージハンドルを備えているため、作業効率が大幅に向上します。
9. 帯電防止保護カバーによりホコリを軽減できます。
工業用サンプルは浮遊粉塵から遠く離れた場所にある必要があり、わずかな粉塵が製品の品質やテスト結果に影響を与える可能性があります。 BS-4020Aには広い面積の帯電防止保護カバーがあり、浮遊塵や落下塵を防ぎ、サンプルを保護し、試験結果をより正確にします。
10. 長い作動距離と高い NA 対物レンズ。
基板サンプル上の電子部品や半導体には高低差があります。したがって、この顕微鏡には長作動距離の対物レンズが採用されています。一方、色再現に対する工業用サンプルの高い要求を満たすために、多層コーティング技術が長年にわたって開発および改善され、高NAのBF&DFセミAPOおよびAPO対物レンズが採用されており、サンプルの実際の色を復元できます。 。
11. さまざまな観察方法により、さまざまな検査要件に対応できます。
| 照明 | ブライトフィールド | ダークフィールド | DIC | 蛍光灯 | 偏光 |
| 反射照明 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 透過照明 | ○ | - | - | - | ○ |
応用
BS-4020A 工業用検査顕微鏡は、さまざまなサイズのウェーハや大型 PCB の検査に最適な機器です。この顕微鏡は、ウエハ、FPD、回路パッケージ、PCB、材料科学、精密鋳造、メタロセラミックス、精密金型、半導体、エレクトロニクスなどの研究と検査のために大学、エレクトロニクスおよびチップ工場で使用できます。
仕様
| アイテム | 仕様 | BS-4020A | BS-4020B | |
| 光学系 | NIS45無限色補正光学系（鏡筒長200mm） | ● | ● | |
| ビューイングヘッド | エルゴ傾斜三眼ヘッド、傾斜0〜35°調整可能、瞳孔間距離47mm〜78mm。分割比接眼レンズ:三眼=100:0または20:80または0:100 | ● | ● | |
| Seidentopf 三眼ヘッド、30°傾斜、瞳孔間距離: 47mm-78mm;分割比接眼レンズ:三眼=100:0または20:80または0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf 双眼ヘッド、30°傾斜、瞳孔間距離: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| 接眼レンズ | 超広視野プラン接眼レンズ SW10X/25mm、視度調整可能 | ● | ● | |
| 超広視野プラン接眼レンズ SW10X/22mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
| 超広視野プラン接眼レンズ EW12.5X/17.5mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
| 広視野プラン接眼レンズ WF15X/16mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
| 広視野プラン接眼レンズ WF20X/12mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
| 客観的 | NIS45 無限 LWD 計画セミ APO 対物レンズ (BF および DF)、M26 | 5X/NA=0.15、WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3、WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45、WD=3.0mm | ● | ● | ||
| NIS45 無限 LWD 計画 APO 目標 (BF および DF)、M26 | 50X/NA=0.8、WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9、WD=1.0mm | ● | ● | ||
| NIS60 無限 LWD 計画セミ APO 対物レンズ (BF)、M25 | 5X/NA=0.15、WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3、WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45、WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 無限 LWD 計画 APO 目標 (BF)、M25 | 50X/NA=0.8、WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9、WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| ノーズピース | 後進6連ノーズピース(DICスロット付) | ● | ● | |
| コンデンサー | LWDコンデンサー NA0.65 | ○ | ● | |
| 透過照明 | 40W LED電源、光ファイバーライトガイド付き、強度調整可能 | ○ | ● | |
| 反射照明 | 反射光 24V/100W ハロゲンランプ、ケーラー照明、6 ポジションターレット付き | ● | ● | |
| 100Wハロゲンランプハウス | ● | ● | ||
| 5W LEDランプによる反射光、ケーラー照明、6ポジションターレット付き | ○ | ○ | ||
| BF1明視野モジュール | ● | ● | ||
| BF2明視野モジュール | ● | ● | ||
| DF暗視野モジュール | ● | ● | ||
| ND6、ND25フィルター、色補正フィルター内蔵 | ○ | ○ | ||
| ECO機能 | ECOボタンによるECO機能 | ● | ● | |
| フォーカシング | 低位置同軸粗微フォーカス、細分割1μm、移動範囲35mm | ● | ● | |
| ステージ | クラッチハンドル付き 3 層メカニカルステージ、サイズ 14 インチ x 12 インチ (356mm x 305mm)。可動範囲356mmX305mm;透過光の照射エリア：356×284mm。 | ● | ● | |
| ウェーハホルダー: 12 インチウェーハの保持に使用可能 | ● | ● | ||
| DICキット | 落射照明用DICキット（10X、20X、50X、100X対物レンズに使用可能） | ○ | ○ | |
| 偏光キット | 反射照明用偏光子 | ○ | ○ | |
| 反射照明用アナライザー、0～360°回転可能 | ○ | ○ | ||
| 透過照明用偏光子 | ○ | ○ | ||
| 透過照明用アナライザー | ○ | ○ | ||
| その他のアクセサリ | 0.5X Cマウントアダプター | ○ | ○ | |
| 1X Cマウントアダプター | ○ | ○ | ||
| ダストカバー | ● | ● | ||
| 電源コード | ● | ● | ||
| 校正スライド 0.01mm | ○ | ○ | ||
| 試験片押え | ○ | ○ | ||
備考：●標準衣装、○オプション
サンプル画像
寸法
単位：mm
システム図
証明書
ロジスティクス
