BS-6024TRF 研究用正立金属顕微鏡
BS-6024TRF
導入
BS-6024 シリーズ正立金属顕微鏡は、広い視野、高精細、明暗視野のセミアポクロマチック冶金対物レンズ、および人間工学に基づいた操作システムを備えた、外観と機能における多くの先駆的なデザインを備えた研究用に開発されました。完璧な研究ソリューションを提供し、産業分野の新しいパターンを開発します。
特徴
1. 優れた無限光学システム。
優れた無限光学システムを備えた BS-6024 シリーズ正立金属顕微鏡は、試料の詳細を非常によく表示できる高解像度、高解像度、色収差補正された画像を提供します。
2. モジュラー設計。
BS-6024 シリーズ顕微鏡は、さまざまな産業用途や材料科学用途に対応できるようにモジュール式に設計されています。これにより、ユーザーは特定のニーズに合わせてシステムを柔軟に構築できます。
3.エコ機能。
顕微鏡のライトは、オペレーターが離れてから 15 分後に自動的にオフになります。エネルギーを節約するだけでなく、ランプの寿命も節約します。
4. 快適で使いやすい。
(1) NIS45 Infinite Plan Semi-APO および APO の目標。
高透明ガラスと高度なコーティング技術により、NIS45 対物レンズは高解像度の画像を提供し、標本の自然な色を正確に再現します。特殊な用途には、偏光や長作動距離などのさまざまな対物レンズをご利用いただけます。
(2) ノマルスキー DIC。
新設計のDICモジュールにより、明視野では検出できない試料の高低差をレリーフ状や3D画像化します。LCDの導電粒子やハードディスクなどの表面の傷の観察に最適です。
(3) フォーカシングシステム。
オペレーターの操作習慣に合わせてシステムを調整できるように、フォーカスとステージのノブを左側または右側に調整できます。この設計により、操作がより快適になります。
(4) エルゴ傾斜三眼ヘッド。
接眼レンズチューブは0°から35°まで調整可能、三眼チューブはDSLRカメラとデジタルカメラに接続でき、3ポジションビームスプリッター(0:100、100:0、80:20)を備え、スプリッターバーはユーザーの要求に応じて両側に組み立てられます。
5. さまざまな観察方法。
ダークフィールド(ウエハー)
暗視野では、標本からの散乱光または回折光を観察できます。平らでないものはこの光を反射し、平らなものは暗く見えるため、欠陥がはっきりと目立ちます。光学顕微鏡の解像力限界を下回る8nmレベルの微細な傷や傷の存在も識別できます。暗視野は、試料上の微細な傷や傷の検出や、ウェーハなどの鏡面試料の検査に最適です。
微分干渉コントラスト (導電性粒子)
DICとは、明視野では検出できない試料の高低差を、コントラストを向上させたレリーフ状または立体的な画像にする顕微鏡観察技術です。この技術は偏光を利用しており、特別に設計された 3 つのプリズムを選択してカスタマイズできます。冶金構造、鉱物、磁気ヘッド、ハードディスクメディア、研磨されたウェーハ表面など、非常に微細な高低差のある試料の検査に最適です。
透過光観察(LCD)
液晶やプラスチック、ガラス素材などの透明な試料は、各種コンデンサーを使用することで透過観察が可能です。透過明視野および偏光での標本検査は、すべて 1 つの便利なシステムで実行できます。
偏光(アスベスト)
この顕微鏡観察手法は、一連のフィルター(アナライザーとポラライザー)によって生成される偏光を利用します。サンプルの特性は、システムを介して反射される光の強度に直接影響します。冶金構造 (すなわち、球状鋳鉄上のグラファイトの成長パターン)、鉱物、LCD、および半導体材料に適しています。
応用
BS-6024 シリーズ顕微鏡は、さまざまな金属や合金の構造を観察および識別するために研究所や研究室で広く使用されており、ウエハ、セラミック、集積回路、電子チップ、プリント基板などのエレクトロニクス、化学、半導体産業でも使用できます。回路基板、LCDパネル、フィルム、粉末、トナー、ワイヤー、繊維、メッキ皮膜、その他の非金属材料など。
仕様
アイテム | 仕様 | BS-6024RF | BS-6024TRF | |
光学系 | NIS45無限色補正光学系(鏡筒長200mm) | ● | ● | |
ビューイングヘッド | エルゴ傾斜三眼ヘッド、傾斜0〜35°調整可能、瞳孔間距離47mm〜78mm。分割比接眼レンズ:三眼=100:0または20:80または0:100 | ● | ● | |
Seidentopf 三眼ヘッド、30°傾斜、瞳孔間距離: 47mm-78mm;分割比接眼レンズ:三眼=100:0または20:80または0:100 | ○ | ○ | ||
Seidentopf 双眼ヘッド、30°傾斜、瞳孔間距離: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
接眼レンズ | 超広視野プラン接眼レンズ SW10X/25mm、視度調整可能 | ● | ● | |
超広視野プラン接眼レンズ SW10X/22mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
超広視野プラン接眼レンズ EW12.5X/16mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
広視野プラン接眼レンズ WF15X/16mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
広視野プラン接眼レンズ WF20X/12mm、視度調整可能 | ○ | ○ | ||
客観的 | NIS45 無限 LWD 計画セミ APO 目標 (BF および DF) | 5X/NA=0.15、WD=20mm | ● | ● |
10X/NA=0.3、WD=11mm | ● | ● | ||
20X/NA=0.45、WD=3.0mm | ● | ● | ||
NIS45 無限 LWD 計画 APO 目標 (BF および DF) | 50X/NA=0.8、WD=1.0mm | ● | ● | |
100X/NA=0.9、WD=1.0mm | ● | ● | ||
NIS60 無限 LWD 計画セミ APO 目標 (BF) | 5X/NA=0.15、WD=20mm | ○ | ○ | |
10X/NA=0.3、WD=11mm | ○ | ○ | ||
20X/NA=0.45、WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
NIS60 無限 LWD 計画 APO 目標 (BF) | 50X/NA=0.8、WD=1.0mm | ○ | ○ | |
100X/NA=0.9、WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
ノーズピース
| 後進6連ノーズピース(DICスロット付) | ● | ● | |
コンデンサー | LWDコンデンサー NA0.65 | ○ | ● | |
透過照明 | 24V/100Wハロゲンランプ、ケーラー照明、ND6/ND25フィルター付き | ○ | ● | |
3W S-LED ランプ、センタープリセット、強度調整可能 | ○ | ○ | ||
反射照明 | 反射光 24V/100W ハロゲンランプ、ケーラー照明、6 ポジションターレット付き | ● | ● | |
100Wハロゲンランプハウス | ● | ● | ||
5W LEDランプによる反射光、ケーラー照明、6ポジションターレット付き | ○ | ○ | ||
BF1明視野モジュール | ○ | ○ | ||
BF2明視野モジュール | ● | ● | ||
DF暗視野モジュール | ● | ● | ||
ND6、ND25フィルター、色補正フィルター内蔵 | ○ | ○ | ||
ECO機能 | ECOボタンによるECO機能 | ● | ● | |
フォーカシング | 低位置同軸粗微フォーカス、細分割1μm、移動範囲35mm | ● | ● | |
最大。試験片の高さ | 76mm | ● |
| |
56mm |
| ● | ||
ステージ | 二層メカニカルステージ、サイズ210mmX170mm;可動範囲 105mmX105mm (右ハンドルまたは左ハンドル);精度: 1mm;摩耗を防ぐために表面が硬く酸化されており、Y方向をロックすることができます | ● | ● | |
ウェーハホルダー: 2 インチ、3 インチ、4 インチのウェーハを保持するために使用可能 | ○ | ○ | ||
DICキット | 落射照明用DICキット(10X、20X、50X、100X対物レンズに使用可能) | ○ | ○ | |
偏光キット | 反射照明用偏光板 | ○ | ○ | |
反射照明用アナライザー、0-360°回転可能 | ○ | ○ | ||
透過照明用偏光板 |
| ○ | ||
透過照明用アナライザー |
| ○ | ||
その他のアクセサリ | 0.5X Cマウントアダプター | ○ | ○ | |
1X Cマウントアダプター | ○ | ○ | ||
ダストカバー | ● | ● | ||
電源コード | ● | ● | ||
校正スライド 0.01mm | ○ | ○ | ||
試験片押え | ○ | ○ |
備考:●標準衣装、○オプション
システム図
寸法
BS-6024RF
BS-6024TRF
単位:mm
証明書
ロジスティクス